目前，簡單的微流控裝置是通過將具有微通道的聚合物(通過復制軟光刻成型)與平板表面(例如載玻片)結合而構成的。用光刻復制成型制作微流控芯片的常見聚合物是PDMS。PDMS透明，生物相容性好，(與隆胸使用的硅橡膠非常相似)，是一種可變形廉價的彈性體。澆注成型與玻璃容易結合。由于這些優點，被廣泛應用于研究室。制作簡單的微流控設備微芯片需要幾個步驟，本文介紹了用軟光刻技術制作微流控芯片的方法。

1、微流控芯片通道設計：

微芯片的制造，首先需要用專用軟件設計微通道。設計完成后，可以通過激光直寫技術轉移到口罩上的：常見的模板是鍍鉻玻璃板或塑料薄膜。這個可以交給專業的制造商。因此，微細結構用UV不透明油墨印刷(基材為塑料薄膜時)，或蝕刻成鉻。

2、用光刻法制備微芯片陽模：

該步驟將掩模上的微結構轉移到模具中形成微通道。微結構被“雕刻”在模具中，通過復制工藝形成與“雕刻”結構相反的微通道，轉移到制造微芯片的材料中。

（1）清漆樹脂應按平面所需厚度涂抹

（2）將口罩放在光致抗蝕劑上，貼緊后用紫外光曝光。因此，像SU-8這樣的負型樹脂，暴露在紫外光下固化的代表性通道只有一部分，模具的其他部分由不透明區域的掩模保護。

（3）將模具浸漬在能夠蝕刻不暴露于紫外光的樹脂區域的溶劑中，完成顯影工序。

（4）我們得到了具有微流控結構的陽模具，并有口罩上圖案的光膠復制品(微通道在模具上制作浮雕)。通道的高度由晶片板上的原光粘接劑的厚度決定。然后，用硅烷處理模具，以便在成形工序中容易脫模(參照下一節)。

3、微芯片成型：

（1）成型工藝允許模具批量生產微芯片。

（2）PDMS液體和交聯劑(用于固化PDMS)的混合物倒入模具中，高溫加熱。

（3）PDMS固化后，可從模具上拆下。獲取具有微通道的PDMS塊。

（4）微流控設備的輸入輸出用與連接管路大小相同的PDMS打孔器打孔，以便能注入流體進行將來的實驗。

（5）對帶有微通道的PDMS塊的表面和載玻片進行等離子體處理。

（6）通過等離子處理，將PDMS與玻璃永久結合，形成密閉的微芯片。該芯片目前正在準備連接微流控儲液槽和泵的微流體管。Tygon管和Teflon管是常用的微流體管。