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微流控芯片制造技術介紹(三)

2025-12-04 17:04:42

 3、橡塑制品法

    用光刻和刻蝕的辦法先制成陽模(需要安全通道一部分凸起);澆筑液體的纖維材料,再將固化的纖維材料與陽模脫離,獲得具備微通道芯片這類制取微芯片的辦法稱之為橡塑制品法。橡塑制品法的關鍵是磨具和高分子材料材料選擇,理想化的原材料應彼此之間粘合力小,便于出模。

    微通道的陽膜可以由光伏材料、夾層玻璃、環氧基SU-8負光膠和PDMS等生產制造。硅或夾層玻璃陽膜可采取規范刻蝕技術性。PDMS磨具可以通過立即澆筑于由光伏材料、夾層玻璃等相關材料制成的母模上制得。

    澆筑使用的纖維材料應具備高粘度,低干固溫度。在的作用下,可充斥著模板里的微通道和凹形槽等地方。可以用的原材料有兩種:干固型高聚物和有機溶劑蒸發型高聚物。

    盡管橡塑制品法受制于纖維材料,但該法簡單易行,處理芯片挺大快速復制,并且不必須昂貴機器設備,是一個可以做便宜剖析芯片方式。

    4、注塑加工法

    注塑方法的加工工藝是由光刻和刻蝕技術的應用單晶硅片上刻蝕出電泳原理處理芯片陽模,用其陽模開展24h左右電鍍工藝,獲得0、5cm粗厚鎳基合金模,然后將鎳基合金模加厚型,用心生產加工做成金屬材料塑料模具,將這一磨具安裝于塑料機上大批量生產高聚物生物芯片基片。

    在注塑加工法制作中,模具生產繁雜,技術性要求嚴格,時間長,是所有加工工藝過程的關鍵因素。一個好的磨具可制成30~50萬多張高聚物處理芯片,可重復性好,生產制造周期時間短,價格低廉,適合于已成形的芯片加工。

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